1. 破坏分解阶段：利用***制的高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气中的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。例如，对于氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯等废气，UV光氧催化设备能有效破坏其分子结构。
2. 催化氧化阶段：采用***定波长的UV紫外线光束照射废气，改变气体分子链结构，并在催化剂的作用下，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链降解转变成低分子化合物。同时，UV光分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有立竿见影的清除效果。
3. 多级处理阶段：除了上述两个主要阶段外，部分UV光氧催化设备还可能采用多级处理方式。例如，通过不同波段的紫外线光束对废气进行多次处理，或结合其他废气处理技术（如活性炭吸附、等离子体处理等），以达到更高的净化效果。
综上所述，UV光氧催化设备的处理方法主要包括破坏分解、催化氧化以及多级处理三个阶段。这些方法共同作用，使得UV光氧催化设备能够高效地去除工业废气中的有害物质，达到净化空气的目的。
